M. Lindstam, Mats Boman, Klaus Piglmayer,
"Room temperature deposition of hydrogenated amorphous carbon films from laser-assisted photolytic CVD at 248 nm"
, in Thin Solid Films, Vol. 394, Seite(n) 115, 1-2001, ISSN: 0040-6090, M. Lindstam, M. Boman, K. Piglmayer: Thin SOlid Films 394 (2001) 115
Original Titel:
Room temperature deposition of hydrogenated amorphous carbon films from laser-assisted photolytic CVD at 248 nm
Sprache des Titels:
Englisch
Journal:
Thin Solid Films
Volume:
394
Seitenreferenz:
115
Erscheinungsmonat:
1
Erscheinungsjahr:
2001
Notiz zum Zitat:
M. Lindstam, M. Boman, K. Piglmayer: Thin SOlid Films 394 (2001) 115