Z. Toth, Klaus Piglmayer,
"Laser-induced local CVD and simultaneous etching of Tungsten"
, in Applied Surface Science, Vol. 186, Seite(n) 184-189, 1-2002, ISSN: 1873-5584, Z. Toth, K. Piglmayer: Appl. Surf. Sci. 186 (2002) 184
Original Titel:
Laser-induced local CVD and simultaneous etching of Tungsten
Sprache des Titels:
Englisch
Journal:
Applied Surface Science
Volume:
186
Seitenreferenz:
184-189
Erscheinungsmonat:
1
Erscheinungsjahr:
2002
Notiz zum Zitat:
Z. Toth, K. Piglmayer: Appl. Surf. Sci. 186 (2002) 184