Publikationsdetails

Zitat:	Dieter Bäuerle, G. Wysocki, L. Landström, J. Klimstein, Klaus Piglmayer, Johannes Heitz, "Laser-induced single step micro/nanopatterning" : Fourth International Symposium on Laser Precision Microfabrication, Serie Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, Vol. 5063, Seite(n) 8-12, 1-2003
Original Titel:	Laser-induced single step micro/nanopatterning
Sprache des Titels:	Englisch
Original Buchtitel:	Fourth International Symposium on Laser Precision Microfabrication
Serie:	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Volume:	5063
Seitenreferenz:	8-12
Erscheinungsmonat:	1
Erscheinungsjahr:	2003
Anzahl der Seiten:	5
DOI:	10.1117/12.541052
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in Tagungsband (referiert)
Autoren:	Dieter Bäuerle, G. Wysocki, L. Landström, J. Klimstein, Klaus Piglmayer, Johannes Heitz
Forschungseinheiten:	Institut für Angewandte Physik

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