Laseroptisches Verfahren zur Charakterisierung von Mikromaterialien
Sprache des Titels:
Deutsch
Original Buchtitel:
Optosensorik in der Produktion
Original Kurzfassung:
Die genaue Kenntnis der mechanischen und thermischen Eigenschaften einzelner Komponenten von Materialsystemen, wie sie in der Sensorik und Aktorik zum Einsatz kommen, ist
eine der wesentlichen Voraussetzungen für ein optimales Design in der Mikrotechnik.
Dies gilt hinsichtlich Funktion als auch Zuverlässigkeit und wird durch die Forderung nach weiterer Miniaturisierung noch verschärft. Thermische Fehlanpassungen zwischen den verwendeten Materialien wie auch materialphysikalisch
bedingte Größeneffekte spielen hierbei eine wichtige
Rolle. Mit der berührungslosen Laser Speckle Messtechnik steht ein Verfahren zur Verfügung, mechanische und thermische Kenngrößen von extrem dünnen Materialproben, wie Filme oder Fasern, erfassen zu können, wobei ein weites Materialspektrum von Keramiken über Metalle bis Kunststoffe abgedeckt werden kann. Mit dieser Technik ist es möglich, die später im Mikrobauteil wirklich auftretenden Materialparameter der einzelnen Komponenten zu bestimmen
und realitätsnähere Daten für z.B. FEM Simulationen zur Verfügung zu stellen, da Materialeigenschaften aus dem
"Handbuch" meist an Makroproben gewonnen wurden und ihre
Übertragbarkeit auf Materialien in Mikro- und Nanodimensionen umstritten ist.