Publikationsdetails

Zitat:	Roman Holly, P. Hudek, R. Merz, Kurt Hingerl, "Fabrication of silicon 3D taper structures for optical fibre to chip interface" , in Microelectronic Engineering, Vol. 84, Seite(n) 1248-1251, 2007, ISSN: 1873-5568
Original Titel:	Fabrication of silicon 3D taper structures for optical fibre to chip interface
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Microelectronic Engineering
Volume:	84
Seitenreferenz:	1248-1251
Erscheinungsjahr:	2007
ISSN:	1873-5568
Anzahl der Seiten:	4
DOI:	10.1016/j.mee.2007.01.156
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in SCI-Expanded-Zeitschrift
Autoren:	Roman Holly, P. Hudek, R. Merz, Kurt Hingerl
Forschungseinheiten:	Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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