Publikationsdetails

Zitat:	Chunguang Hu, Lidong Sun, Peter Zeppenfeld, Xiao Tang Hu, "Impact of lamp instability on rotating compensator based ellipsometry" , in Proceedings of SPIE, Vol. 7506, Seite(n) 750617, 2009, ISSN: 0277-786X
Original Titel:	Impact of lamp instability on rotating compensator based ellipsometry
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Proceedings of SPIE
Volume:	7506
Seitenreferenz:	750617
Erscheinungsjahr:	2009
ISSN:	0277-786X
Anzahl der Seiten:	10
DOI:	10.1117/12.837430
URL zu weiteren Infos:	http://dx.doi.org/10.1117/12.837430 (http://spiedigitallibrary.org/proceedings/resource/2/psisdg/7506/1/750617_1?isAuthorized=no)
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in SCI-Expanded-Zeitschrift
Autoren:	Chunguang Hu, Lidong Sun, Peter Zeppenfeld, Xiao Tang Hu
Forschungseinheiten:	Institut für Experimentalphysik Abteilung für Oberflächenphysik

Wissenschaftsgebiete:	Experimentalphysik (ÖSTAT:1209) Technische Physik (ÖSTAT:1221) Oberflächenphysik (ÖSTAT:1238) Nanotechnologie (ÖSTAT:1245)

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