Publikationsdetails

Zitat:	Dieter Bäuerle, "Pyrolytic Laser Induced Chemical Processing" , in F. Houle, T.F. Deutsch, R.M. Osgood: Laser Chemical Processing of Semiconductor Devices, Serie Proc. Materials Research Society, Materials Research Society, Boston 1984, Seite(n) 59, 1984
Original Titel:	Pyrolytic Laser Induced Chemical Processing
Sprache des Titels:	Englisch
Original Buchtitel:	Laser Chemical Processing of Semiconductor Devices
Veröffentlicher:	Materials Research Society, Boston 1984
Serie:	Proc. Materials Research Society
Seitenreferenz:	59
Erscheinungsjahr:	1984
Anzahl der Seiten:	16
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in Tagungsband (referiert)
Autoren:	Dieter Bäuerle
Forschungseinheiten:	Institut für Angewandte Physik

Wissenschaftsgebiete:	Angewandte Physik (ÖSTAT:1203) Experimentalphysik (ÖSTAT:1209) Optik (ÖSTAT:1213) Laserphysik (ÖSTAT:1230) Laserspektroskopie (ÖSTAT:1237) Oberflächenphysik (ÖSTAT:1238) Polymerphysik (ÖSTAT:1239)

fodok.jku.at

Benutzerbetreuung: Sandra Winzer, letzte Änderung:

Johannes Kepler Universität (JKU) Linz, Altenbergerstr. 69, A-4040 Linz, Austria
Telefon + 43 732 / 2468 - 9121, Fax + 43 732 / 2468 - 29121, Internet www.jku.at, Impressum