Publikationsdetails

Zitat:	Klaus Piglmayer, Z. Toth, Z. Kantor, ". Laser-induced Etching and Deposition of Tungsten in Tungstenhexafluoride-Hydrogen Atmosphere" , in V.I. Pustovoy: Laser Methods of Surface Treatment and Modification, Serie Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, Vol. 2498, Seite(n) 45, 1995
Original Titel:	. Laser-induced Etching and Deposition of Tungsten in Tungstenhexafluoride-Hydrogen Atmosphere
Sprache des Titels:	Englisch
Original Buchtitel:	Laser Methods of Surface Treatment and Modification
Serie:	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Volume:	2498
Seitenreferenz:	45
Erscheinungsjahr:	1995
Anzahl der Seiten:	6
DOI:	10.1117/12.203636
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in Tagungsband (referiert)
Autoren:	Klaus Piglmayer, Z. Toth, Z. Kantor
Forschungseinheiten:	Institut für Angewandte Physik

Wissenschaftsgebiete:	Angewandte Physik (ÖSTAT:1203) Experimentalphysik (ÖSTAT:1209) Optik (ÖSTAT:1213) Laserphysik (ÖSTAT:1230) Laserspektroskopie (ÖSTAT:1237) Oberflächenphysik (ÖSTAT:1238) Polymerphysik (ÖSTAT:1239)

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