Publikationsdetails

Zitat:	Günther Bauer, A. A. Darhuber, Th. Grill, C. Penn, Friedrich Schäffler, Stefan Zerlauth, Y. Zhuang, "Characterization of reactive ion etched Si/SiGe Nanostructures" : Beitraege der Informationstagung ME 97, 1997, ISBN: 3-85133-010-2,, Y. Zhuang, S. Zerlauth, T. Grill, A. A. Darhuber, C. Penn, F. Sch ffler, G. Bauer: "Characterization of reactive ion etched Si/SiGe Nanostructures", Beitr ge der Informationstagung ME 97, ISBN 3-85133-010-2, 209-214 (1997)
Original Titel:	Characterization of reactive ion etched Si/SiGe Nanostructures
Sprache des Titels:	Englisch
Original Buchtitel:	Beitraege der Informationstagung ME 97
Erscheinungsjahr:	1997
Notiz zum Zitat:	Y. Zhuang, S. Zerlauth, T. Grill, A. A. Darhuber, C. Penn, F. Sch ffler, G. Bauer: "Characterization of reactive ion etched Si/SiGe Nanostructures", Beitr ge der Informationstagung ME 97, ISBN 3-85133-010-2, 209-214 (1997)
ISBN:	3-85133-010-2,
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in Tagungsband (referiert)
Autoren:	Günther Bauer, A. A. Darhuber, Th. Grill, C. Penn, Friedrich Schäffler, Stefan Zerlauth, Y. Zhuang
Forschungseinheiten:	Abteilung für Halbleiterphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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