Publikationsdetails

Zitat:	Günther Bauer, T. Graf, H. von Känel, C. Rosenblad, J. Schulze, Julian Stangl, Y. Zhuang, "Epitaxial growth at high rates with LEPECVD" , in Thin Solid Films, 1998, C. Rosenblad, T. Graf, J. Stangl, Y. Zhuang, G. Bauer, J. Schulze, H. von K nel: "Epitaxial growth at high rates with LEPECVD", Thin Solid Films, 336, 89-91 (1998); ISSN-No. 0040-6090
Original Titel:	Epitaxial growth at high rates with LEPECVD
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Thin Solid Films
Erscheinungsjahr:	1998
Notiz zum Zitat:	C. Rosenblad, T. Graf, J. Stangl, Y. Zhuang, G. Bauer, J. Schulze, H. von K nel: "Epitaxial growth at high rates with LEPECVD", Thin Solid Films, 336, 89-91 (1998); ISSN-No. 0040-6090
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift
Autoren:	Günther Bauer, T. Graf, H. von Känel, C. Rosenblad, J. Schulze, Julian Stangl, Y. Zhuang
Forschungseinheiten:	Abteilung für Halbleiterphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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