Publikationsdetails

Zitat:	Thomas Kolber, Kurt Piplits, Leopold Palmetshofer, H. Hutter, "Characterization of the element distribution within TiN coatings with SIMS" , Vol. 135, 2000, T. Kolber, K. Piplits, L. Palmetshofer, H. Hutter Characterization of the element distribution within TiN coatings with SIMS Mikrochimica Acta 135, 105 (2000) // Seitenreferenz: 105-111
Original Titel:	Characterization of the element distribution within TiN coatings with SIMS
Sprache des Titels:	Englisch
Volume:	135
Erscheinungsjahr:	2000
Notiz zum Zitat:	T. Kolber, K. Piplits, L. Palmetshofer, H. Hutter Characterization of the element distribution within TiN coatings with SIMS Mikrochimica Acta 135, 105 (2000) // Seitenreferenz: 105-111
Anzahl der Seiten:	7
DOI:	10.1007/s006040070025
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Sonstige
Autoren:	Thomas Kolber, Kurt Piplits, Leopold Palmetshofer, H. Hutter
Forschungseinheiten:	Abteilung für Festkörperphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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